電子束相關
(Electron beam)
對蒸鍍物質,照射電子束,
進行有再現性的蒸鍍．
●超多層膜
●AR塗層等
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超小型・低價格
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超多層膜用
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附屬部品等
結晶相關裝置
利用高週波加熱及電阻加熱，
來進行各種各樣的結晶的開發﹑製造的裝置．
●SiC單晶 → 單晶體.
磊晶矽晶圓等
●氮化物單晶 → 氮化鋁
(AIN)等
●氧化物單晶 → 鈮酸鋰
(LiNbO3)等
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布里奇曼長晶設備(Bridgman)
其他
柴式長晶設備
(Czochraski method)
自動直徑控制器（ADC）
浮融帶長晶 FZ設備(Floating Zone)
頂部晶粒溶液長晶 TSSG設備(Top Seeded Solution Growth)
非消耗電弧熔煉單晶長晶設備
磁場中高壓單晶長晶設備
(High pressure single crystal increase device in the magnetic field)
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各種設計和製造設備
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金属系新素材関連装
使用高週波加熱，
加熱或熔化的金屬，
該裝置用於進行
各種實驗和新材料的開發。
●非晶態金屬 → 絲帶.薄片等
●金屬粉末 → 霧化粉末
(Atomization) 等
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各種設計和製造設備
其他
電弧熔煉設備
高週波溶解設備
粉末製造設備
淬火液凝固設備
磁懸浮設備(Levitation)
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高週波電源
主要是用於用於加熱和溶解的高週波電源。
由我們公司內部自己的設計和製造，可提供各種設備最佳的電源。
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向下成長型設備
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6kW EB源
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各種客製化的EB源
內部磁極片EB源(Inner pole piece)
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